Aktuelles

Standortverlagerung der Metrology & Plasma Solutions GmbH

Einzelscheiben Plasmastripper

Einzelscheiben Plasma System für Wafer 100mm, 150mm und 200mm

Die Gruppe Plasma Systeme der PVA TePla AG hat ein neues Einzelscheiben Plasmasystem für das Entfernen von Fotolack entwickelt mit besonderem Augenmerk auf die Anforderungen der Hersteller von MEMS und opto-elektronischen Bauelementen. Dabei wird die bekannte Technologie des Beladens von der 300mm Platform mit den bestens bewährten Plasmaquellen mit direkter Mikrowellenanwendung kombiniert. Das System ist modular aufgebaut und kann mit einer oder bis zu drei Prozesskammern betrieben werden. Dabei sind die Kammermodule so gebaut, dass sie auch im Feld nachgerüstet werden können. Das System kann Scheiben von 100mm bis 200mm verarbeiten, entweder für eine definierte Wafergröße oder aber als bridging tool mit zwei verschiedenen Waferdurchmessern.

 

 

Einzelscheiben Plasmasystem zum Photolack Entfernen für Substrate bis 200mm Durchmesser

Neues Analyse Tool für das Epi Monitoring

Slip Line Analyzer

Automatische Slip Line Analyse

Die Jenawave Gruppe der PVA TePla AG hat ein neues Software Werkzeug für die Analyse von Slip Lines für die SIRD Stress Monitoring System entwickelt. Das bisher verwendete Verfahren der Grid Based Analysis hat sichspeziell bei geringer Defektdichte als nicht zuverlässig genug erwiesen. Das neue Verfahren trägt dem Rechnung, in dem es nun jeden einzelnen Messpunkt analysiert, der die festgelegten Grenzwerte übersteigt. Dabei werden die umgebenden Messpunkte ebenfalls auf Übersteigen der Grenzwerte geprüft (Halo-Analyse). Das Ergebnis ist eine stark verbesserte Angabe und Auswertung von Stressdefekten, wie etwa die Größe der Fläche, die von erhöhten Stress oder Slip lines betroffen ist oder aber die längste auf dem Wafer vorhandene Slip Line (Slip Line Analyse).

 

Das neue Verfahren wurde für die Version 5.0 des SIRD Betriebssystems entwickelt, kann aber auch Daten verabeiten, die mit früheren SIRD-Versionen gemessen wurden. Bestehende Nutzer können dieses neue Verfahren über eine Office-Version nutzen, die auf nahezu jedem PC installiert werden kann