Über Uns

Wir sind ein führender Lieferant auf dem Gebiet der Plasmasysteme für die Halbleiterindustrie für einen breit gestreuten Anwendungsbereich vom Entfernen von Fotolack über Stress Relief Ätzung für wafer und gesägte Bauelemente sowie Reinigen und Aktivieren von Oberflächen vor dem Bonden und Verkapseln bis hin zu Mess- und Analysesystemen für verschiedene Anwendungen.

 

Unsere 30 Jahre Erfahrung auf dem Gebiet der Plasma Technologie macht uns zu einem führenden Experten für die Anwendung von Plasmaprozessen in verschiedensten Prozesskammerformen und Anregungsfrequenzen.

 

Unsere Zentrale in Wettenberg mit Fertigungen in Jena und Corona CA, U.S.A. in Verbindung mit unserem Netzwerk von Niederlassungen und Repräsentanten bringen unsere Technologie und Expertise direkt zu unseren Kunden auf der ganzen Welt.

 

Mit unseren erfahrenen Applikationsteam unterstützen wir unsere Kunden bei der Anwendung und der Entwicklung neuer Prozesse.

 

Die Service Abteilung wird durch unsere Niederlassungen ergänzt und hilft unseren Kunden bei der Fehlersuche und -behebung sowohl vor Ort als auch über Fax, Telefon und e-mail. Benötigte Ersatzteile werden innerhalb kürzester Zeit weltweit versendet. Schliesslich bieten wir unseren Kunden kontinuierliche Verbesserungen und Nachrüstungen auf neue Technologieplatformen sowie generelle Überholung ihrer Plasmasysteme als Vor-Ort oder Service oder aber in einem unserer Servicebüros an.