SIREX Stressmessung

Das SIREX System nutzt gebündeltes, polarisiertes Laserlicht, welches vom zu untersuchenden Bauelement zurück geworfen wird. Das reflektierte Licht wird mit zwei Analysatoren auf eine Polarisationsverschiebung untersucht. Bei der Messung befindet sich das Bauelement auf einem X-Y-Tisch mit einer Auflösung im Mikron-Bereich, so daß hochauflösende Darstellung sehr kleiner Stressfelder möglich ist.

 

Das SIREX System kann mit verschiedenen Aufnahmeeinrichtungen für Substrate oder Bauelemente ausgerüstet werden, um so den verschiedensten Anwendungen gerecht zu werden.

 

Die zu untersuchenden Prüflinge werden von Hand geladen, die Scan-Bewegung erfolg dann automatisch nach einem vorgegebenen Rezept. Darüber hinaus bietet die Softtware umfangreiche Möglichkeiten zur Auswertung der Messergebnisse zum Beispiel für lokale Defekte am Rand oder globale Stressfelder.