SIRD Stressmessung

Die SIRD und SIRIS Systeme nutzen polarisiertes Laserlicht, welches durch den zu untersuchenden Wafer tritt. Das transmittierte Licht wird mit zwei Analysatoren auf eine Polarisationsverschiebung untersucht. Bei der Messung befindet sich der Wafer auf einem rotierenden Tisch, welcher wiederum auf linearen Achsen montiert ist.

 

Beim SIRD System wird das Laserlicht durch die Kombination aus der Rotation und der linearen Verschiebung über die gesamte Wafer Oberfläche bewegt. Dabei ist die Anzahl der Messpunkte sowie die Abstände zwischen zwei Messreihen wählbar und bestimmt die Auflösung des Mess-Ergebnisses, aber auch die Messzeit. Für unregelmäßig geformte Substrate gibt es verschiedene Möglichkeiten der Aufnahme im Messtisch. Diese Technik kann an allen Substraten bis 300mm Durchmesser angewendet werden, sofern sie eine Transmission im infraroten Bereich von mindestens 0,01% aufweisen.

 

Das einfachste System arbeitet mit manueller Beladung der Scheiben. Darüber hinaus gibt es verschiedene Möglichkeiten der Automatisierung, von automatischen Handling Systemen über Load ports für SMIF oder FOUP Container bis hin zur Software für die Kommunikation mit Host Rechnern und Transportsystemen für die Container. Je nach Kundenanforderung kann ein System individuell auf die entsprechenden Wünsche und Bedürfnisse zusammen gestellt werden.

 

Die neue Generation des SIRS Systems ermöglicht nun die Messung von Wafern bis 450mm Durchmesser mit feinerer örtlicher Auflösung und verbessertem Signal-Rauschabstand, um auch höher dotierte Wafer messen zu können. Die Messpunkte liegen nicht mehr auf konzentrischen Kreisen, sondern werden entlang einer Spirale vom Rand zur Mitte erfasst. Diese Änderung verkürzt die Messzeit für einen Wafer auf etwa ein Viertel bis ein Fünftel. Beide Systeme können für Messungen an Monitor- oder Produktscheiben sowie gebondeten Stapeln verwendet werden.

 

Beide Systeme arbeiten in der einfachsten Ausführung mit manueller Beladung der Scheiben. Es gibt verschiedene Möglichkeiten der Automatisierung, von automatischen Handling Systemen über Load ports für SMIF oder FOUP Container bis hin zur Software für die Kommunikation mit Host Rechnern und Transportsystemen für die Container. Je nach Kundenanforderung kann ein System individuell auf die entsprechenden Wünsche und Bedürfnisse zusammen gestellt werden.

 

Darüber hinaus bieten SIRD und SIRIS umfangreiche Möglichkeiten zur Auswertung der Messergebnisse zum Beispiel für lokale Defekte am Rand oder globale Stressfelder.