Akustische Mikroskope

Die SAM Linie beinhaltet universelle Produkte von Ultraschall-Rastermikroskopen, einsetzbar im Forschungsbereich und zur Qualitätskontrolle im industriellen Bereich. Unser innovatives Hardware/Software-Plattform-Konzept ermöglicht es Ihnen die Geräte modular leicht zu bedienen und universell einzusetzen. Wir bieten ein umfangreiches Programm von Hardware-Komponenten mit vielfältigen Nachrüstungen an.

 

Unsere SAM Premium Linie verbindet Ultraschallmikroskopie und optische Mikroskopie. Diese Technologie ermöglicht die Kombination des Scanners sowohl mit einem invertierten als auch einem Auflicht-Mikroskop. Der Frequenzbereich bis 2.000 MHz ermöglicht Auflösungswerte akustischer Bilder im µm-Bereich.

 

Mit unserer Auto Wafer Linie bieten wir Ihnen ein vollautomatisches Ultraschallmikroskop zur Wafer-Inspektion, Bondkontrolle und MEMS Inspektionen. Hohlräume, Einschlüsse und Delaminationen lassen sich so in gebondeten Schichten leicht erkennen. Eine automatische Defekt-Review-Software ermöglicht eine vollständig automatisierte Auswertung eines gesamten Wafers.

 

Mit dem Auto Ingot haben wir ein vollautomatisches Ultraschallmikroskop entwickelt, dass die Untersuchung einkristalliner Si/ Ge/GaAs Ingots ermöglicht. Insbesondere Einschlüsse (Pinholes) und Risse sind detektierbar.

 

Für mehr Informationen: →  www.pva-analyticalsystems.com