GIGAfab Modular

 

Das Plasmasystem GIGAfab Modular ist ein vollautomatisches Einzel-scheibensystem mit Ausrichtung auf Anwendungen im Bereich LED und MEMS. Es beinhaltet einen Beladeroboter mit Doppelarm für hohen Durchsatz bei niedrigen Betreiberkosten. Außerdem kann dieses System mit bis zu drei Prozesskammern für Wafer von 100mm bis 200mm ausgestattet werden.

 

Die Gestaltung der Prozesskammer Ist vom Plasmasystem GIGAfab A abgeleitet und an die Anforderungen der kleineren Wafergröße angpasst. Das Chuckkonzept ist ebenfalls vom GIGAfabsystem übernommen, entweder mit  einem elektrisch beheiztes System mit Luftkühlung für einen stabilen Prozessbereich zwischen 60°C und 250°C oder aber ein System mit Kühlkreislauf und Kühlaggregat für Temperaturen von 20 bis 95 °C.

 

Die direkte MW Quelle ist auch von den bekannten und bewährten Quellen übernommen und auf die Anforderungen des Einzelscheibenbetriebs hin optimiert, um die geforderte Gleichmäßigkeit des Abtrags zu gewährleisten.

 

Die Steuerung basiert auf einem PC System mit QNX als Betriebssystem und Touch-Screen, um damit Prozesse sowohl im manuellen als auch im automatischen Multi-Step Betrieb ablaufen zu lassen.

 

Jedes Prozesskammermodul hat seine eigene Steuerung und  beinhaltet eine Regelung für stabilen Prozessdruck sowie zwei Gaskanäle mit automatischen Durchflussreglern (MFC), zwei weitere Gaskanäle sind optional möglich.