GIGAfab Gen2

Das GIGAfab Gen 2 System nutzt ebenfalls die Technologie der planaren Mikrowellenquelle, allerdings auf die auf die Größe der Flachbildschirme angepasst. Die Hauptanwendungen für dieses System liegen in der Reinigung und Aktivierung der Bildschirme, zum Beispiel für die Herstellung mittels Tintenstrahl-Druckverfahren für organische Elektronik.  Dieses System kann für fast jede benötigte Größe konfiguriert werden. Die Beladung erfolgt mit einem entsprechenden externen Robotsystem.

 

Das Substrat liegt während des Prozesses auf einer Kühlplatte mit einem geschlossenem Kreislauf und externem Kühlaggregat. Bei Anlage mit manueller Beladung ist die Kühlplatte an der Innenseite der Prozesskammertür montiert. Bei Beladung mit externem Robotsystem befindet sich die Kühlplatte in der Prozesskammer und die Beladung erfolgt durch eine Schleusentür. Lift pins ermöglichen das Be- und Entladen, wobei verschiedene Sensoren für die Sicherheit von Produkt und Robotsystem sorgen.

 

Als Betriebssystem wird QNX mit einem Touch Screen genutzt. Dies erlaubt sowohl automatische Prozesse mit mehreren Schritten als auch das manuelle Prozessieren. Dazu gehört ein Regelventil zur Regelung des Prozessdrucks sowie zwei Gaskanäle mit Flow Controllern, wobei zwei weitere optional verfügbar sind.

 

Darüber hinaus gibt es eine Konfiguration, bei der Wasserstoff als Prozessgas genutzt werden kann, entweder von einer zentralen Versorgung oder aber mit Hilfe von einem Wasserstoffgenerator, der an Ort und Stelle Wasserstoff aus der Elektrolyse von destilliertem Wasser erzeugt.