GIGAbatch 310M

Unser Plasma System GIGAbatch 310M ist das Einstiegsmodell der GIGAbatch Produktfamilie. Als kleinstes System ist es die kostengünstige Variante für Labor und Universität, aber man kann schon mit der Grundversion mit einem Gaskanal mit MFC und dem 600W Generator manuelle und automatische Plasmaprozesse fahren.  

 

Das Grundgerät ist als Tischgerät ausgeführt und bietet Platz für einen weiteren Gaskanal. Die Prozessammer ist zur einfachen Beladung mit einer Auszugstür ausgestattet. Dazu bieten wir einen weiten Bereich von Zubehör, damit wir jede Anlage auf die individuellen Kundenwünsche und Anwendungen konfigurieren können.

 

Die Kammer kann bis zu 25 Wafer mit 150mm Durchmesser aufnehmen, entweder als Batch in einem Quarzboot oder aber als Einzelsubstrat mit speziellen Einrichtungen zur Beladung, die jeweils an der Innenseite der Kammertür montiert werden.

 

Für das Entfernen von SU-8 gibt es eine spezielle Konfiguration mit speziellem Dichtungsmaterial, einer Kammer mit  Kühlplatte und Umlaufkühler, von einen Wafer mit maximal 150mm Durchmesser SU-8 entfernen zu können.