GIGA690

Die Plasmaanlage GIGA 690 ist ein Niederdruck-Mikrowellen-Plasma-System für die Reinigung und Aktivierung von Halbleiterbauteilen im Chip-Packaging, unter anderem vor dem Die-Attach-, Draht-Bonden, Flip Chip Unterfüllen und der Verkapselung. Mikrowellen von 2,45 GHz werden durch ein Fenster in der Wand der Vakuumkammer eingeleitet und erzeugen ein chemisch reaktives Plasma. Durch den Einsatz von Mikrowellen sorgt die GIGA 690 für eine schnelle und beschädigungsfreie Plasmabehandlung. Der Plasma-Reinigungseffekt beruht auf chemischen Reaktionen von reaktiven Teilchen, sogenannte Radikale.

Das System kann im manuellen und automatischen Modus bedient werden. Die benutzerfreundliche Software entspricht den SEMI Standards. Die GIGA 690 ist das Nachfolgemodel der PS400 und PS660 und wurde im Jahr 2008 in den Markt eingeführt.