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Batch Systeme

Batch Systeme

Batch Systeme bieten immer noch die kostengünstigste Art, um Wafer zu prozessieren. Dabei gibt es für nahezu jede Anwendung die entsprechende Anlagenkonfiguration, von der einfachen Laboranlage bis hin zu einem vollautomatischem System in einer Produktionslinie für das Veraschen von Fotolack, das Reinigen und Aktivieren vor dem Vergießen oder Sterilisation im Bereich medizinischer Anwendungen.

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Einzelwaferanlagen

Plasma System für Batch Betrieb oder einzelne Substrate mit RF oder Mikrowellenanregung

Die Systeme zur manuellen Beladung können große Substrate verarbeiten oder aber als Minibatch System konfiguriert werden. Dabei stehen verschiedene Formen von Prozesskammer und Plasmaquelle zur Verfügung, um das System gemäß der vorliegenden Anwendung, von der Behandlung von Fotolack über Stress-Relief-Ätzen an Wafern im Bereich 3D-Interconnect bis hin zu gr0ßen Gläsern,  zu konfigurieren. Jede diese Konfigurationen aus Kammer und Quelle kann natürlich auch mit einer automatischen Beladung ausgestattet werden, damit die Prozesse aus der Entwicklung schnell und einfach in die Produktion überführt werden können

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Metrologiesysteme

Metrologie Systeme

Unsere Metrologiesysteme basieren je nach Anforderung auf verschiedenen Verfahren und Plattformen mit manueller oder vollautomatischer Beladung, von kleinen Ultraschall-Mikroskopen über die lasergestützten Anlagen zur Messung von mechanischem Stress und zur Implantationskontrolle bis hin zu den komplexen Systemen für die Analyse von Oberflächenkontamination mit Hilfe des VPD Verfahrens oder die Inspektion eines 300mm Ingots.

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Strip Type Systeme

Strip Type Systeme

Plasmasysteme für die manuelle Beladung in Kassetten oder aber mit vollautomatischer Beladung der Substratstreifen unterschiedlicher Länge und Breite mit RF oder Mikrowellenanregung, je nach Anforderung und gewünschten Prozessergebnis.

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Atmosphärisches Plasma

Kleine und kompakte Plasmaquelle im atmosphärischen Betrieb
zur lokalen Reinigung und Aktivierung bei industriellen Anwendungen.

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Desmearing

Große Plasmakammern für Leiterplatten zum Reinigen vor dem
Galvanisieren.

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