Prozessunterstützung

Wir haben die neuesten Versionen unserer Plasmasysteme in unseren Anwendungslabors in München bzw. in Corona, Kalifornien, U.S.A. installiert, damit wir  unsere Kunden bei Anwendungsproblemen oder der Entwicklung von Prozessen für neue Anwendungen unterstützen können.

 

In unserem Front End Labor betreiben wir einen Reinraum der Klasse 100, in dem sowohl unsere neuesten Batchsysteme als auch die Einzelscheibenanlagen in verschiedenen Konfigurationen für das Entfernen von Fotolack oder das Entspannungsätzen  in Betrieb sind.

 

Im  Backend Labor betreiben wir ebenfalls die Batchsysteme und Plasmasysteme für Einzelstreifen, sowohl mit Mikrowellenanregung als auch mit Anregung über 13,56 MHz. Darüber hinaus steht hier das Plasmasystem für die Kantenätzung von Solarzellen.

 

Die Anwendungsunterstützung für die Metrologie Systeme mit Laser bzw Oberflächenkontamination erfolgt in unseren Labors in Jena, für die Ultraschall Inspektionssysteme in Westhausen bei Ulm.

 

Unser erfahrenes Applikationsteam steht Ihnen gerne für Ihre Fragen zur Verfügung. Bitte kontaktieren Sie uns mit Ihren Problemstellungen, damit wir Ihnen die entsprechende Lösung für die gewünschte Anwendung anbieten können, von einer einfachen Anlagenvorführung bis hin zu einer vertraglichen Prozessentwicklung gemäß Ihrer Vorgaben, entweder in unserem Labor oder bei Ihnen vor Ort.