JenaWave Mess-Service

Wir bieten unseren Kunden Unterstützung bei der Lösung ihrer aktuellen Prozessprobleme durch Messen und Auswerten von Kundenwafern und -devices sowie Hilfen bei der Identifizierung von Prozessproblemen.

SIRD und SIRIS

Wir können Messungen auf beiden Systemen mit manueller Beladung in einem Reinraum der Klasse 100 durchführen, darüber hinaus bieten diese Systeme umfangreiche Möglichkeiten zur Analyse und Auswertung von globalen Stressfeldern oder lokalen Defekten bei Wafern bis 450mm.

SIREX

Ähnlich dem SIRD messen wir mit dem SIREX auf reflektierenden Substraten mit höherer Auflösung und können so Defekte auf Schaltkreisebene darstellen und analysieren.

TWIN

Für die Implantationskontrollmessung steht ein vollautomatisches TWIN mit Bilderkennungssystem für Messungen an Wafern bis 300mm zur Verfügung.

Externe Dienstleistungen

Wir bieten diesen Service natürlich zunächst für unsere Kunden an, um die Möglichkeiten dieser Geräte kennen zu lernen. Bei einer größeren Anzahl von zu messenden Mustern oder spezieller Aufgabenstellung wird diese Dienstleistung auch gegen Bezahlung angeboten.