Frühere Systeme

PS100

Plasma System PS100

Das letzte Plasma System PS100 wurde im Jahr 2008 ausgeliefert, viele Ersatzteile sind noch lieferbar.

 

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PS200

Plasma System PS200

Das letzte Plasma System PS200 wurde im Jahr 2007 ausgeliefert, viele Ersatzteile sind noch lieferbar.

 

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PS210

Plasma System PS210

Das Plasma System PS210 wurde in den Jahren 2007 bis 2009 ausgeliefert und wurde durch das System GIGAbatch 310M ersetzt. Alle Teile sind verfügbar und wir bieten die volle Unterstützung für das System PS210.

 

PS300E

Plasma System PS300E

Das Plasma System PS300E war das erste System mit waagerechter Prozesskammer und hat den Grundstein für die Systeme der PS 300 Familie und später der GIGAbatch Generation gelegt. Die Auslieferung erfolgte bis in die späten 90ger Jahre, inzwischen sind die meisten Teile nicht mehr verfügbar, so daß wir diesen Anlagentyp nicht mehr unterstützen können.

 

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PS300 Autoload

Plasma System PS300AL

Das Plasma System PS300AL war das erste Plasmasystem mit motorischem Türantrieb und wurde bis Ende der 90er Jahre ausgeliefert inzwischen sind die meisten Teile nicht mehr verfügbar, so daß wir diesen Anlagentyp nicht mehr unterstützen können.

 

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PS300 Standard, Semi-Auto

Plasma System PS300 Standard

Die Familie der PS 300 Systeme wurde mit Beginn des Jahres 2000 ausgeliefert. Die Anlagen vom Typ 300 Standard und Semi-Auto unterscheiden sich lediglich durch die Gestaltung der Kammertüre als Klapptüre bzw. mit manueller Auszugstür. Alle Teile sind verfügbar und wir bieten die volle Unterstützung für die Systeme PS300 mit Ausnahme der Mikroprozessor Steuerungsplatine für die T1000 Steuerung. Diese Platine ist vom Hersteller nicht länger verfügbar und wir haben noch eine begrenzte Anzahl solcher Platinen verfügbar.
 

PS300AL PC

Plasma System PS300AL-PC

Das Plasma System 300AL PC basiert im Wesentlichen auf den gleichen Komponenten wie die Systeme PS300 Standard und Semi-Auto. Der große Unterschied liegt in der Steuerung der Anlagen, die bei der PS300 AL aus einem DOS gesteuertem PC besteht. Die erste Generation wurde mit einem Prozessor vom Typ 486 ausgeliefert, ab Mitte 2003 wurde der PC mit Pentium Prozessor eingeführt. Die PCs mit 486 Prozessoren sind nicht mehr reparabel, da es keine Teile mehr dafür gibt. Der PC mit Pentium kann meist noch repariert werden, daher gibt es Unterstützung nur noch auf Anfrage mit eingeschränktem Umfang.

Wir bieten für diese Plasmasysteme eine Umrüstung auf die neue Steuerung T5000 an, die auch in den neuen Systemen der GIGAbatch Serie verwendet wird und QNX als Betriebssystem nutzt. Bitte erfragen Sie ein Kostenangebot von unserer Service-Abteilung.

 

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PS600 Standard, Semi-Auto, AL-PC

Plasma System PS600 series with MHz excitation

Die Plasma Systeme der  Series600 entstanden als Weiterentwicklung aus der Serie der PS300, wobei der Unterschied in der Anregungsfrequenz besteht. Die Serie 300 nutzt die Anregung über Mikrowelle mit Magnetron, hingegen wird bei den Systemen vom Typ 600 ein Generator mit 13,56 MHz und Matching Netzwerk eingesetzt. Daher gelten hier die gleichen Einschränkungen wie für die Systeme aus der Serie PS 300.

 

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PS400 and PS660

Plasma System PS400

Die Systeme PS400 und 660 wurden seit dem Jahr 2000 ausgelieferung und unterscheiden sich lediglich daran, daß es beim PS660 ein Untergestell gibt. Alle Teile sind verfügbar und wir bieten die volle Unterstützung für die Systeme PS300.

 

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PS4008, PS4011, PS90

Plasma System PS300 Standard

Diese Systeme werden unter einem neuen Namen weitergeführt und  wir bieten die volle Unterstützung für:

 

PS4008 GIGAfab M
PS4011 GIGAfab Gen2
PS90 GIGAfab A

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Andere Systeme

Alle Anlagen, die nicht auf dieser Seite genannt wurden, sind meist nicht
mehr unterstützt, da in den meisten Fällen keine Teile mehr erhältlich sind.
Speziell gilt dies für RIBetch and CAIBE Anlagen. Unterstützung ist unter
Umständen auf Anfrage möglich.

 

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