Solarzellen Kantenätzen

Die Solarzellen werden in einem rotierenden Stapel geätzt
Ätzprozess für die Kantenisolation im Zellenstapel

Ein wichtiger Schritt bei der Herstellung von Solarzellen ist die Kantenisolation, bei der die Kanten der Solarzellen von der dort befindlichen Dotierung befreit werden, da diese Schicht als Kurzschluss des P-N-Übergangs darstellt. Wir haben für diesen Schritt einen speziellen Plasma-Ätzprozess im Zellenstapel entwickelt, der mit einem Prozessgemisch aus einem fluorhaltigen Gas und einem Oxidanten arbeitet.

 

Der Zellenstapel wird nur an den Kanten dem Ätzprozess ausgesetzt, die Flächen werden durch die benachbarten Zellen geschützt. Die Gleichmäßigkeit des Prozesses wird durch die Rotation des Zellenstapels während des Prozesses gewährleistet. Der Durchsatz für diesen Prozess liegt bei etwa 800 Zellen je Stunde.

Einfaches Be- und Entladen des Zellenstapels mit Hilfe der Zellenpresse und Beladehilfe
Zellenpresse und Beladehilfe

Der Zellenstapel wird in einer Zellenpresse zusammengehalten, der optional angeboten wird. Mit der Beladehilfe ist es sehr leicht, einen Stapel in die Zellenpresse zu laden oder wieder zu entnehmen. Zellenpresse und Beladehilfe sind für Zellen von 4”, 5” or 6” sowie für verschiedenen Stapelhöhen ausgelegt.

 

Der Prozess benötigt einen relativ hohen Anteil an fluorhaltigem Gas in Verbindung mit einer Oxidanten, um die gewünschte Abtragsrate zu erzielen.